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        砷烷特氣危害大?理研計器有辦法!

        發布時間:2023-12-22

        半導體行業中的砷烷氣體

        半導體產業是國民經濟的重要組成部分,而電子特氣是集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業生產不可或缺的原材料。高純電子特氣是半導體產業發展所需的核心原料之一,在半導體材料需求中占比排名第二,達到15%左右。

        正是這些氣體通過不同的制程使硅片具有半導體性能,又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個特定雜質超標,都將導致質量嚴重缺陷,嚴重時會因不合格氣體的擴散,導致整個生產線被污染,乃至生產全面癱瘓。因此,電子特氣是電子制造過程關鍵基礎材料,是名副其實的電子工業“血液”。

        高純砷烷在半導體集成電路中,通過電子特氣系統,安全穩定的參與外延硅的N型摻雜、硅中N型擴散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與某些元素形成化合物半導體。
        什么是砷烷?
        砷化氫(化學式:AsH3)又稱砷化三氫、砷烷、胂,它是砷和氫的高毒性分子衍生物,是簡單的砷化合物,常溫常壓下為無色,有大蒜氣味但無明顯刺激性的劇毒可燃氣體,燃燒呈藍色火焰并生成三氧化二砷,遇明火、氯氣、硝酸、(鉀+氨)會爆炸。

        任何事物都有兩面性,砒霜有毒但可治療白血病,砷烷雖有毒,但它是半導體工業不可或缺的材料,盡管它的殺傷力很強,但是在工業生產中仍被廣泛使用↓↓↓

        砷化氫氣體的廣泛應用

        01
        高純砷烷是高純電子氣體的一種,是電子工業的重要基礎材料之一,在半導體工業中主要用于外延硅的N型摻雜、硅中的N型擴散、離子注入、生長磷砷化鎵(GaAsP)以及與ⅢA/ⅤA族元素形成半導體化合物等。
        02
        砷烷也是制造半導體化合物砷化鎵的重要材料,由砷化鎵(GaAs)集成電路所提供的高速度和高頻率是其它器件所不能比擬的,由它制備的微波變頻器件和光電器件,廣泛用于導彈制導、雷達和新一代衛星通訊等裝置。
        03
        砷烷也用于有機合成、軍用毒氣,及應用于科研或某些特殊實驗中。

        半導體器件和集成電路制造砷烷摻雜工藝主要工藝流程:

        1.準備摻雜氣體:

        按照所需比例將砷烷等摻雜氣體混合,并通過流量控制器精確調節氣體流量

        2.芯片裝載:

        將待摻雜的芯片裝載到晶圓臺上,并將其固定在摻雜設備的腔室中。

        3.加熱:

        使用加熱器將芯片加熱到制定溫度,確保其表面能夠吸附摻雜氣體。

        4.清洗:

        停止摻雜氣體供應,排出殘余氣體,并通入氮氣或其他清洗氣體,對芯片表面進行清潔處理。

        5.封裝:

        從摻雜設備中取出芯片,并進行封裝。

        砷化氫氣體泄漏主要危害的危害

        半導體器件和集成電路制造砷烷泄漏主要危害如下:

        砷烷屬于可燃易爆氣體,爆炸極限為4.5%~100%VOL,泄漏積聚到環境空氣中的砷烷氣體濃度處于此范圍內時,遇明火、電弧、火花、高溫等就會發生爆炸。

        砷化氫在空氣中主要以氣態形式存在,其毒性極強。在空氣中濃度為0.5mg/m3時即可引起急性中毒,國家標準《GBZ2.1-2019 工作場所有害因素職業接觸限值 第1部分:化學有害因素》中,砷化氫的職業接觸限值MAC為0.03mg/m3,臨界不良健康效應為強溶血作用,多發性神經炎。
        工作場所空氣中的AsH3允許濃度(TLV-TWA)為0.05ppm。
        ● 輕度中毒有頭暈、頭痛、乏力、惡心、嘔吐、關節及腰部酸痛、皮膚及鞏膜輕度黃疸等癥狀。尿樣可能呈醬油色,可能伴有肝臟損害。
        ● 重度中毒發病急劇,有高熱、昏迷、抽搐、紺紫、鞏膜及全身重度黃疸等癥狀,少尿或無尿。同時,尿樣呈深醬色,出現急性腎功能衰竭,并伴有肝臟損害。
        2017年10月27日,世界衛生組織國際癌癥研究機構公布的致癌物清單初步整理參考,砷和無機砷化合物在1類致癌物清單中。

        如何預防砷烷的危險性?
        使用理研計器砷化氫氣體檢測儀

        在實際工作中無論是從影響人體健康以及環保因素考慮,還是從保證安全生產的角度考慮,都必須對工作空間中這些氣體的環境濃度進行有效的實時監測,在使用和儲藏該產品的區域或其鄰近區域應安裝氣體檢測儀。
        砷化氫毒性大、易爆炸,泄漏后果不堪設想,為避免氣體泄漏造成人身威脅,我們可選擇砷化氫氣體檢測報警器來預防發生氣體泄漏中毒事件,砷化氫氣體檢測儀可以實時監測砷化氫氣體的濃度,并及時發現問題及采取措施,確保工作環境和實驗環境的安全。
        理研獨特技術壁壘
        讓每件產品都能安全保障
        針對AsH3氣體,理研計器研發改良出檢測范圍在【0~50ppb】的傳感器,具有獨特優勢,對應AsH3容許濃度2倍的10ppb警報「★理研計器電化學原理的傳感器」,★更加精確檢測出微量氣體的濃度值;受大氣中干擾氣體影響導致★零點變動減少;★穩定高效保障氣體安全!

        在生產安全領域,針對砷烷氣體管理,理研計器有TP-70D、GD-70D系列、GD-K88i、GD-K88Di和SC-8000等固定在線與便攜式安全檢測產品,
        ● GD-70D氣體檢測儀能實時監控氣體濃度,并且配有高清液晶大屏顯示,當濃度超過最低報警值的時候,就會進行聲光報警,及時發現危險。
        ● GD-K88i與GD-K88Di廣泛適用于半導體電子、液晶車間,具有防爆特性
        ● TP-70D是一款智能型可移動式氣體檢測儀,適用于特殊材料氣體等的泄漏檢測以及工廠內的環境監測。
        ● SC-8000便攜式特殊材料氣體檢測儀,常用與半導體工廠的巡查、測漏等,具有本質安全型防爆結構。

        結語

        理研計器砷化氫氣體檢測儀以其快速、準確地檢測砷化氫氣體的能力,在半導體工業、化工行業、制藥行業和實驗室等領域中都具有非常重要的應用價值,可以實時監測砷化氫氣體的濃度,及時發現問題并采取措施,確保工作環境和實驗環境的安全。

        安全生產是關系人民群眾生命財產安全的大事,是經濟社會協調發展的標志。在生產過程中,通過安裝氣體檢測報警裝置,時刻檢測有毒有害氣體泄漏濃度,將風險隱患控制在源頭。
        理研計器擁有600多種氣體傳感器和100多種氣體探測器。未來,我們仍將不斷開發新產品、研發各項新功能,使得氣體檢測儀在應用上更先進、更適合日新月異的市場環境,致力于為用戶提供一個可靠、準確、安全的氣體檢測方案。

        理研計器必將在未來氣體產業的生命安全畫卷中,添上濃墨重彩的一筆,守護人們的幸福生活,為生產和生活不斷創造新價值!為用戶選配適合原理的檢測儀,用成熟的工藝完善氣體檢測系統。

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